A****2002

主要指標(biāo)及配置： 1、平面行星轉(zhuǎn)動部套：可裝載直徑尺寸不大于Ф1000，凈重不大于800Kg的工件三件； a、行星盤數(shù)量3個(gè)，行星盤轉(zhuǎn)動無卡滯； b、工轉(zhuǎn)速度0～10rpm； c、行星盤承重≤800kg 2、電子束蒸發(fā)部套：雙槍單電源兩套，270°磁偏轉(zhuǎn)；電子槍控制電源兩套，功率10 KW及相應(yīng)的環(huán)形、多穴水冷坩堝； a、高壓：-4kV～10kV； b、電子束流：0～1000mA； c、坩堝容量：穴堝單穴20cc，環(huán)堝1000cc。 3、石英晶體膜厚監(jiān)控部套：（5探頭）； a、頻率穩(wěn)定度：膜厚儀通電15min后，測量探頭頻率穩(wěn)定度≤±10Hz@6MHz； b、坩堝控制準(zhǔn)確； c、膜層自動切換準(zhǔn)確可靠。 4、離子源輔助部套：配國產(chǎn)離子源兩套； a、離子能量：0～1200eV。 b、離子束流：0～1000mA。 c、電子束流：0～1600mA。 5、充氣系統(tǒng)：對相應(yīng)電子束蒸發(fā)源進(jìn)行充工藝氣體； 6、冷卻水系統(tǒng)：對電子束蒸發(fā)源、石英晶控探頭、離子源等的水流保護(hù)裝置； 7、電氣控制：對電子束蒸發(fā)源、石英晶體膜厚控制系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、行星工件轉(zhuǎn)動系統(tǒng)等的監(jiān)測和控制，滿足多層膜的沉積工藝需求。 a、控制方式：手動/自動； b、能夠依據(jù)設(shè)計(jì)膜系，自動完成膜系鍍制； c、對上述四個(gè)主要系統(tǒng)進(jìn)行測量和控制。 廠家報(bào)價(jià)及選型：廠家最低報(bào)價(jià)為人民幣424萬元。 主要部件清單： 序號 名稱 數(shù)量 廠家 1 電子束蒸發(fā) 2 **涉谷 2 膜厚控制 5 膜林科技 3 離子源 2 ** 4 行星工轉(zhuǎn) 1 定制 5 控制系統(tǒng) 1 定制 現(xiàn)有同類型儀器設(shè)備使用管理情況： ****天文臺**基地并沒有可以鍍多層多種膜系的設(shè)備，對于設(shè)備的使用與管理可以參考早期直徑2.8米鐘罩式真空鍍膜機(jī)的使用管理情況進(jìn)行，這臺自1968年安裝至今已使用了50多年的鍍膜機(jī)，****基地技術(shù)組負(fù)責(zé)運(yùn)行維護(hù)。多年來利用****基地2.16米反光、1.26米紅外、60/90厘米施密特等多臺望遠(yuǎn)鏡每年的常規(guī)鍍膜工作。目前新的3.2米鐘罩式真空鍍膜機(jī)（一期），只能夠進(jìn)行單層軟膜的鍍制，也由基地技術(shù)組負(fù)責(zé)使用與運(yùn)維，目前工作狀態(tài)良好。