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    信息工程學院 光子芯片加工及封測平臺政府采購意向公告

    廣東-廣州-廣州市 狀態(tài)：預告 加入收藏 打印 導出為
    更新時間:
    2022年10月20日
    		 招標單位: 立即查看
    截止時間: 立即查看 招標編號: 立即查看
    項目名稱: 立即查看 代理機構(gòu): 立即查看
    關(guān)鍵信息: 芯片  招標文件: 立即查看
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    為便****政府采購信息，根據(jù)《****政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將（****） 2022年 10 （至） 11 月采購意向公開如下：

    序號

    采購項目

    名稱

    采購需求概況

    金額

    （萬元）

    預計采購時間

    （填寫到月）

    備注

    1

    光子芯片加工及封測平臺

    雙面光刻機

    電子束蒸發(fā)

    磁控濺射

    電感耦合等離子體刻蝕（ICP）

    等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）

    快速熱退火

    等離子清洗機

    勻膠機

    熱板

    臺式真空干燥箱

    超聲波清洗機

    晶圓劃裂片系統(tǒng)

    貼膜機

    擴晶機

    全自動二流體清洗機

    芯片轉(zhuǎn)料機

    微波等離子清洗機

    高精度自動貼片機

    金絲球楔一體鍵合機

    雙電子束蒸發(fā)鍍膜機

    精密程控位移臺

    光子芯片與光波器件綜合測試系統(tǒng)

    雙路垂直光耦合系統(tǒng)

    2265.75

    2022年11月

    無

    本次公開的****政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。





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