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武進(jìn)南大未來技術(shù)創(chuàng)新研究院2024年11月(第1批)政府采購意向公告

預(yù)告-招標(biāo)預(yù)告

江蘇 -常州-常州市

發(fā)布時間： 2024年11月14日

摘要信息

招標(biāo)單位

招標(biāo)編號

招標(biāo)估價

招標(biāo)聯(lián)系人

招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

代理聯(lián)系人

報名截止時間

投標(biāo)截止時間

關(guān)鍵信息

招標(biāo)詳情

下文中****為隱藏內(nèi)容，僅對千里馬會員開放，如需查看完整內(nèi)容請或撥打咨詢熱線： 400-688-2000

****2024年11月(第1批)政府采購意向公告

發(fā)布日期：2024-11-14

****2024年11月(第1批)政府采購意向公告

為便****政府采購信息，根據(jù)《****財政廳****政府采購意向公開工作的通知》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將****2024年11月(第1批)政府采購意向公告如下：

編號項(xiàng)目名稱采購需求概況

采購預(yù)算
(萬元)

預(yù)計(jì)采購月份是否專門面向中小企業(yè)采購是否采購節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品備注

1	通用電子束曝光機(jī)系統(tǒng)采購項(xiàng)目	用于硅基器件的圖形加工，實(shí)現(xiàn)微納圖形的曝光及套刻對準(zhǔn)，支持各類正膠、負(fù)膠工藝。包括：1套通用電子束曝光機(jī)。	1,836	2024-12	否	否
2	場發(fā)射透射電子顯微鏡采購項(xiàng)目	主要用于材料的高分辨形貌觀察、微區(qū)的晶體結(jié)構(gòu)分析和成分分析。系統(tǒng)有電子光學(xué)系統(tǒng)、高壓系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、掃描透射單元(STEM)、熱電原位實(shí)驗(yàn)樣品桿、電制冷能譜儀、數(shù)字成像系統(tǒng)等部分組成。包括：1套場發(fā)射透射電子顯微鏡。	940	2024-12	否	否
3	掃描型顯微及加工系統(tǒng)采購項(xiàng)目	該系統(tǒng)用于材料的表征測試和微納加工工作?？蛇M(jìn)行材料表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)和元素表征，薄膜樣品加工，表面圖案化加工，原位電化學(xué)實(shí)驗(yàn)。包括：1套場發(fā)射掃描型電子顯微鏡，1套聚焦離子束/電子束系統(tǒng)。	1,571	2024-12	否	否
4	掃描電子顯微鏡及電子束曝光系統(tǒng)采購項(xiàng)目	用于表面圖案化掩模的快速加工，可對加工情況進(jìn)行原位掃描電子顯微觀察。包括：1套掃描電子顯微鏡及電子束曝光系統(tǒng)。	218	2024-12	否	否
5	激光直寫系統(tǒng)采購項(xiàng)目	主要用于無掩膜直接曝光轉(zhuǎn)移微結(jié)構(gòu)圖案，將設(shè)計(jì)圖形線路利用激光直寫在涂有光刻膠之芯片、玻璃基板或陶瓷基板等基板上，適用于單片及不規(guī)則小片的無掩膜光刻工藝。主要有：掩膜板制作功能、光刻膠直寫功能、線寬距離測量功能、套刻直寫功能、三維灰階光刻功能。包括：1套激光直寫系統(tǒng)。	710	2024-12	否	否
6	橢偏儀采購項(xiàng)目	主要用途為測量薄膜的厚度及光學(xué)常數(shù)，也可以測量體材料的光學(xué)常數(shù)，相位延遲等。探測低達(dá)百分之一納米的膜厚變化，材料的不同組分、摻雜、工藝不穩(wěn)定導(dǎo)致的孔洞、各向異性傾向、折射率梯度分布等信息。包括：1套橢偏儀。	222	2024-12	否	否
7	光學(xué)性能表征系統(tǒng)	用于測量元件的光學(xué)參數(shù)。包括：1套UV紫外可見近紅外分光光度計(jì)；3套偏振測量儀；3套光束質(zhì)量分析儀； 4套任意波形發(fā)生器。	113	2024-12	否	否
8	微納結(jié)構(gòu)加工刻蝕系統(tǒng)采購項(xiàng)目	用于在襯底表面生長功能層和樣品刻蝕加工。包括：1套深硅刻蝕機(jī)；1套感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)；1套反應(yīng)離子刻蝕機(jī)；1套射頻離子束刻蝕機(jī)；1套等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。	1,157	2024-12	否	否
9	薄膜生長系統(tǒng)采購項(xiàng)目	用于在襯底表面生長金屬，介質(zhì)及半導(dǎo)體等薄膜。包括：1套磁控濺射設(shè)備；1套電子束蒸發(fā)設(shè)備。	389	2024-12	否	否
10	原子層沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目	原子層沉積主要用于沉積氧化物、氮化物及金屬薄膜，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、OLED、玻璃強(qiáng)化、太陽能電池鈍化層、微米納米顆粒功能性包裹、銀器的防氧化處理、高精度光學(xué)玻璃鍍膜和鋰電池等。包括：1套原子層沉積系統(tǒng)。	140	2024-12	否	否
11	液晶曝光系統(tǒng)采購項(xiàng)目	用于大尺寸高精度液晶元件微結(jié)構(gòu)加工。包括：1套300mm口徑偏振光柵曝光系統(tǒng)；1套100mm口徑超小周期偏振光柵曝光系統(tǒng)；1套液晶平板透鏡曝光系統(tǒng)。	526	2024-12	否	否
12	全自動勻膠機(jī)采購項(xiàng)目	用于大尺寸液晶元件材料涂布。包括：1套直線式自動勻烤一體機(jī)；1套全自動勻膠UV一體機(jī)。	407	2024-12	否	否
13	液晶批量加工線采購項(xiàng)目	用于大尺寸液晶元件批量加工（含摩擦、表面處理、灌晶、切割、膜厚測試等）。包括：1套摩擦機(jī)；1套邊框UV固化機(jī)；1套玻璃切割機(jī)；1套灌晶機(jī)；1套PI前烘干機(jī)/UVO 清洗機(jī)；1套膜厚測試儀；1套打線機(jī)。	322	2024-12	否	否
14	大口徑光源采購項(xiàng)目	用于大口徑液晶元件均勻結(jié)構(gòu)加工和固化。包括：4套大口徑平行光源。	84	2024-12	否	否
15	超聲波清洗機(jī)采購項(xiàng)目	用于大尺寸玻璃基片批量清洗。包括：1套全自動超聲波清洗機(jī)。	61	2024-12	否	否
16	液晶元件表征系統(tǒng)采購項(xiàng)目	用于液晶元件結(jié)構(gòu)觀察和使用性能測試。包括：1套干涉儀；2套偏光顯微鏡；	205	2024-12	否	否
17	光學(xué)平臺及套件采購項(xiàng)目	用于搭建加工和測試系統(tǒng)。包括：光學(xué)平臺，批量光機(jī)械件套件，光學(xué)元件套件。	76	2024-12	否	否

本次公開的****政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。

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2024年11月14日

招標(biāo)進(jìn)度跟蹤

2024-11-14

招標(biāo)預(yù)告

武進(jìn)南大未來技術(shù)創(chuàng)新研究院2024年11月(第1批)政府采購意向公告

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