開啟全網(wǎng)商機(jī)
登錄/注冊(cè)
有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀 | **方昇 | 193000.00 | 質(zhì)保及售后服務(wù):貨物的免費(fèi)保修期為1年,時(shí)間自最終驗(yàn)收合格并交付使用之日起計(jì)算。 | 設(shè)備技術(shù)參數(shù) 1樣品架系統(tǒng) ▲1.1標(biāo)準(zhǔn)的樣品盤可以容納100X100mm的基片。 1.2基片盤可旋轉(zhuǎn),采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),旋轉(zhuǎn)速度0-30轉(zhuǎn)/分可調(diào); 1.3掩膜板到基片的距離小于0.2mm. 2蒸發(fā)源 ▲2.1至少有4組蒸發(fā)源,可兼容蒸鍍金屬和有機(jī)材料; 2.2源與源之間配備隔板,可有效隔絕一定的溫度,并避免源與源之間相互污染; 2.3配1套蒸發(fā)電源,功率1.4KW以上,采用進(jìn)口知名品牌,用于蒸發(fā)金屬和有機(jī)材料,可切換到20組蒸發(fā)源中任意1組。蒸發(fā)源電源具有恒流和恒壓二種驅(qū)動(dòng)模式,二者可切換。蒸發(fā)電源可以通過(guò)軟件控制,具體二段或以上升溫過(guò)程控制,一段降溫過(guò)程控制,也可以手動(dòng)控制,此外,蒸發(fā)電源還可以通過(guò)膜厚儀PID(閉環(huán)控制),自動(dòng)調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率; 2.3金屬蒸發(fā)源均帶有水冷功能。 3膜厚測(cè)量系統(tǒng) 3.1采用石英晶振膜厚儀在線測(cè)量膜厚,采用進(jìn)口知名品牌,可以實(shí)時(shí)測(cè)量蒸發(fā)的速度和厚度; 3.2膜厚儀速率測(cè)量顯示精度優(yōu)于0.01A/S,厚度精度優(yōu)于1A;頻率分辨率0.01Hz,可以PC機(jī)上操作,帶有PID環(huán)功能,可通過(guò)膜厚儀自動(dòng)控制蒸鍍速率。 4蒸發(fā)腔體 4.1腔體采用SUS304不銹鋼制作,其內(nèi)部尺寸≥300×300×530mm; 4.2腔體為方形,有前后二個(gè)可完全打開的門,一個(gè)為滑動(dòng)式開啟,用于連接手套箱,一個(gè)為旋轉(zhuǎn)開啟或滑動(dòng)式開啟,用于維護(hù)清理; 4.3腔體內(nèi)表面采用電解拋光處理,表面精糙度小于等于0.8;外表面采用拉絲拋光,表面精糙度小于等于0.8;整體要求美觀,無(wú)擦傷及劃痕; 4.4腔體漏率:整體漏率優(yōu)于5×10-10 Pa.m3/S,保壓12小時(shí),壓強(qiáng)小于10Pa; 5、蒸鍍軟件控制系統(tǒng) 5.1采用PLC+PC機(jī)控制模式; 5.2真空系統(tǒng)通過(guò)工控機(jī)控制機(jī)械泵、氣動(dòng)閥、閘板閥、分子泵的啟動(dòng)和停止,軟 件中含有各個(gè)電氣設(shè)備的軟件互鎖和狀態(tài)反饋,確保設(shè)備的安全 | 1.0臺(tái) | 193000.00 | **** |