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相關(guān)單位：
***********公司企業(yè)信息
項目概況 ****芯片加工教學研究平臺 招標項目的潛在投標人應在****官網(wǎng)（http://tendering.****.com）獲取招標文件，并于2024年11月20日 09點30分（**時間）前遞交投標文件。
附件下載1一、項目基本情況
項目編號：****
項目名稱：****芯片加工教學研究平臺
預算金額：291.000000 萬元（人民幣）
最高限價（如有）：291.000000 萬元（人民幣）
采購需求：
| 包號 | 標的名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)需求或服務要求 |
| 01 | 1套 | 一、桌面光刻機 需求 6臺 支持4英寸及以下單面曝光，最小曝光線寬 3 μm。 系統(tǒng)需配有全電動控制晶圓承載臺，XY±12mm，Z 軸 15mm，θ±4°。 系統(tǒng)需配有 405 nm LED 光源，支持升級為 365 nm 光源。 二、小型磁控濺射設(shè)備 需求 3臺 1. 要求緊湊型設(shè)計，設(shè)備總體積小于 1000mm×1300mm×1700mm。 配備機械泵組，可實現(xiàn)系統(tǒng)的自動抽真空，真空度優(yōu)于 9X10-3Pa。 三、小型離子束刻蝕機 需求 3臺 支持 4 英寸晶圓的刻蝕，刻蝕速率可調(diào)。 配置輔助離子源，離子束能量 100eV 1000eV 連續(xù)可調(diào)。 配備分子泵組，可實現(xiàn)系統(tǒng)的自動抽真空，真空度≤5×10-4Pa。 四、多功能測試機 需求 1臺 最大磁場強度：≥100 mT@20 mm 氣隙。 磁場均勻性：≤± 2%@φ1mm。 磁場分辨率：≥0.03 mT。 五、芯片場景演示系統(tǒng) 需求 2臺 系統(tǒng)功能：用于磁性芯片測試，可實現(xiàn)電橋法測試，并對測試數(shù)據(jù)進行采集和分析。 系統(tǒng)組成：由左側(cè)觸摸屏和右側(cè)芯片測試區(qū)組成，測試區(qū)透明蓋可開。 六、原子力顯微鏡 需求 1臺 1.XY方向噪音水平：≤0.5 nm閉環(huán)；≤0.05nm開環(huán) 2.Z方向噪音水平：≤0.1 nm閉環(huán)；≤0.06nm開環(huán) 3.XY方向非線性度：≤0.05%；Z方向非線性度：≤0.15% 七、小型磁滯回線測量儀 需求 1臺 1.結(jié)構(gòu)：測試與操作一體機設(shè)計無需外置電腦 2.測試模式：縱向克爾信號、極向克爾信號 3.樣品尺寸：10×10mm 八、等離子體去膠機 需求 1臺 1.腔體材質(zhì)：316 不銹鋼表面處理 ≥10L腔體 2.電源功率： 0-200W 旋鈕可調(diào),獨立數(shù)字電源手自一體機，顯示實際功率與反射 3.頻率：13.56 MHz（偏移量小于 0.2 kHz） 九、金相顯微鏡 需求 3臺 配備 5X，10X，20X， 50X 物鏡。 可調(diào)光源，支持反射，透射觀察。 十、旋涂機 需求 3臺 1.轉(zhuǎn)速250-9000rpm 2.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性<±1% 3.含真空泵 十一、鋁線鍵合機 需求2臺 1.鋁絲直徑： 0.8 mil-2.0 mil/20 μm ~50 μm 2.焊線跨度：0-10 mm(步進電機,數(shù)控調(diào)整) 3.焊接弧度：0-6 mm(數(shù)控調(diào)整) 十二、輔助設(shè)備一套 冰箱1臺（展示冰箱100L以內(nèi)可以在桌面或桌下，用于存儲光刻膠），25L左右鼓風干燥箱1個25L左右真空干燥箱1個含泵，6寸熱板2個 |
注：投標人必須針對本項目所有內(nèi)容進行投標，不允許拆分投標。
合同履行期限：合同生效后3個月內(nèi)完成供貨、安裝及調(diào)試并達到驗收條件。
本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。
二、申請人的資格要求：
1.滿足《****政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
2.1 中小企業(yè)政策
本項目專門面向中小企業(yè)采購。即：提供的貨物全部由符合政策要求的中小企業(yè)制造。
2.2 ****政府采購政策的資格要求（如有）：無。
3.本項目的特定資格要求：3.1****政府購買服務：否。3.2其他特定資格要求：無。
三、獲取招標文件
時間：2024年10月30日 至 2024年11月06日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（**時間，法定節(jié)假日除外）
地點：****官網(wǎng)（http://tendering.****.com）
方式：（1）注冊登錄：請投標人在****官網(wǎng)（http://tendering.****.com）“投標人登錄”欄目辦理手續(xù)。未注冊的投標人請先免費注冊，電子平臺將協(xié)助對注冊信息進行一致性復核。投標人注冊時填寫的“申報人姓名、申報人手機號碼”，應是本項目的聯(lián)系人，在需要通知有關(guān)項目信息時，招標公司將依據(jù)投標人注冊時填寫的上述聯(lián)系方式與投標人取得聯(lián)系。投標人參與不同項目的經(jīng)辦人可在平臺注冊多個不同賬戶。（2）文件獲取：請投標人憑注冊的手機號碼、密碼登錄，獲取并下載電子文件（供應商如計劃參與多個采購包，應按采購包分別獲取并下載電子文件）。投標人應充分考慮平臺注冊、資料上傳、平臺復核、網(wǎng)上支付等流程所需的時間，務必在獲取文件截止時間前完成所有手續(xù)，否則將無法保證獲取招標文件。（3）紙質(zhì)文件可與本項目聯(lián)系人確定領(lǐng)取方式。（4）投標人注冊、文件獲取等系統(tǒng)操作問題可咨詢010-****7110。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2024年11月20日 09點30分（**時間）
開標時間：2024年11月20日 09點30分（**時間）
地點：**市**區(qū)柏彥大廈東附樓開標室1
五、公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個工作日。
六、其他補充事宜
1.****政府采購政策：節(jié)約能源、保護環(huán)境、****監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展、促進殘疾人就業(yè)、支持鄉(xiāng)村產(chǎn)業(yè)**，政府采購政策具體落實情況詳見招標文件。
七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：****
地址：****學院路37號
聯(lián)系方式：柳老師，010-****9759,采購人業(yè)務監(jiān)督聯(lián)系人：陳老師，朱老師,聯(lián)系方式：010-****4673，010-****4680
2.采購代理機構(gòu)信息
名 稱：****
地 址：**市**區(qū)**大街8****廣場16層
聯(lián)系方式：010-****8251
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：馬娟娟、劉健、聶婭瓊、陳俊
電 話： 010-****8223（購買文件、發(fā)票咨詢）、010-****6386（項目問詢）、****@sstc20.com（項目問詢）
附件（1）
2441STC73763（BUAAZB20240109）_招標公告.docx下載預覽
招標進度跟蹤
2024-10-30
招標公告
北京航空航天大學集成電路科學與工程學院芯片加工教學研究平臺公開招標公告
當前信息
2024-09-09
招標項目商機
暫無推薦數(shù)據(jù)
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