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********學(xué)院晶圓加工系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目 | |
項(xiàng)目所在采購(gòu)意向: | ****2024年10至12月政府采購(gòu)意向 |
采購(gòu)單位: | **** |
采購(gòu)項(xiàng)目名稱: | ********學(xué)院晶圓加工系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目 |
預(yù)算金額: | 120.000000萬(wàn)元(人民幣) |
采購(gòu)品目: | A****3202研磨機(jī) |
采購(gòu)需求概況 : | 1.設(shè)備名稱:晶圓加工系統(tǒng); 2.重要功能或目標(biāo):晶圓加工系統(tǒng)是進(jìn)行微納新材料和新結(jié)構(gòu)加工制備研究的重要儀器之一,能夠?qū)崿F(xiàn)多種單晶的切割研磨拋光退火等加工,同時(shí)晶圓加工系統(tǒng)還可用于開(kāi)設(shè)本科生、研究生創(chuàng)新性實(shí)驗(yàn),提升教學(xué)質(zhì)量。擬購(gòu)的晶圓加工系統(tǒng)涵蓋多個(gè)先進(jìn)模塊,覆蓋了晶圓加工所有流程和應(yīng)用場(chǎng)景,包括用于6英寸及以下晶圓的線切割模塊、雙工位晶體定向模塊、全自動(dòng)雙面研磨、拋光模塊、以及晶體整個(gè)加工過(guò)程的熱處理模塊等全套的晶體加工系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)從晶圓到晶片的全鏈條工作;加工后的晶片平面度≤0.001mm,平行度≤0.001mm,粗糙多≤0.5 nm; 3.數(shù)量:1套; 4.質(zhì)量服務(wù)等:售后5*24小時(shí)快速響應(yīng),免費(fèi)保修至少1年,機(jī)器使用年限不低于10年。 |
預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: | 2024-12 |
備注: |
本次公開(kāi)的****政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。