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激光直寫光刻機 | |
項目所在采購意向: | ****2024年12月政府采購意向 |
采購單位: | **** |
采購項目名稱: | 激光直寫光刻機 |
預(yù)算金額: | 280.000000萬元(人民幣) |
采購品目: | A****0309激光儀器 |
采購需求概況 : | 擬建設(shè)系統(tǒng)是在不需要掩膜板的情況下實現(xiàn)對光刻膠的曝光成型,從而以更靈活的方式實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)或器件加工的光刻步驟??芍苯訉σr底上的光刻膠進行直寫,對光敏材料進行圖案化加工,從而實現(xiàn)有機光刻膠圖案化集成;可制作掩模板;可進行三維灰階光刻功能等。 需要包含如下主系統(tǒng)與配件: 激光直寫光刻主體(包括直寫系統(tǒng)、光源、樣品臺控制系統(tǒng)) 1套 顯微鏡系統(tǒng)與對準(zhǔn)、對焦及校準(zhǔn)系統(tǒng) 1套 減震系統(tǒng) 1套 預(yù)裝控制軟件的專用計算機(包含顯示器、電源線、數(shù)據(jù)連接線) 1套 |
預(yù)計采購時間: | 2024-12 |
備注: |
本次公開的****政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。