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發(fā)布時(shí)間:2024-10-15 10:56:25
國家儲(chǔ)能平臺(tái)PECVD系統(tǒng) | 項(xiàng)目編號(hào)**** | |
2024-10-15 10:56:25 | 公告截止日期2024-10-19 12:00:00 | |
**** | 付款方式貨到安裝、調(diào)試、驗(yàn)收合格后,付全款。 | |
發(fā)布競價(jià)結(jié)果后7天內(nèi)簽訂合同 | 到貨時(shí)間要求合同簽訂后7天內(nèi)送達(dá) | |
幣種 | 人民幣 | |
**省**市**區(qū)**** | ||
無 |
國家儲(chǔ)能平臺(tái)PECVD系統(tǒng) | 1.00 | 套 | 無 |
科晶 |
OTF-1200X-II-80-3CLV-PE(UL) |
1.加熱裝置 最高使用溫度:1200度(≤30min) 含2個(gè)長度200mm+200mm獨(dú)立溫區(qū) 獨(dú)立程序控溫系統(tǒng);管徑80mm. 2.額定功率:5KW 最高使用溫度:1200度(≤30min); 3.工作溫度:1100度,升溫速率:≦10 度/min 4.加熱元件:電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金); 5.儀表智能化50段可編程控制,恒溫控溫精度:±1℃; 6.等離子射頻系統(tǒng) 輸出功率:5-500W±1% 射頻頻率:13.56MHz±0.005% 射頻接口:50Ω,N-type 7.真空系統(tǒng):真空計(jì) 連接裝置 帶滑輪 雙層立式油霧過濾裝置 智能控制系統(tǒng);極限真空度: 1.0*10-1Pa;抽氣速率:3L/S 殼體尺寸: 600mm(L)x600mm(W)x600mm (H) 8.供氣系統(tǒng):三個(gè)防腐氣路 數(shù)字顯示,PLC觸摸屏控制。質(zhì)量流量控制 三路MFC范圍:100 \200\ 500\1000sccm可選。精度+1.5%FS。 9.訂制專用石英管道 樣品架 含冷卻裝置 |
1.為提升服務(wù)品質(zhì)和后期功能擴(kuò)充,參與競價(jià)的必須提供針對本項(xiàng)目原生產(chǎn)商簽署的授權(quán)書及售后服務(wù)承諾書。 2.交貨期:15天內(nèi)供貨安裝調(diào)試到位,包含氣路電路連接,設(shè)備調(diào)試等等。 3. 質(zhì)保期:貨到安裝驗(yàn)收合格后至少3年。 |