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退火爐 | |
項目所在采購意向: | ****2024年10至12月政府采購意向 |
采購單位: | **** |
采購項目名稱: | 退火爐 |
預算金額: | 156.000000萬元(人民幣) |
采購品目: | A****9900其他電氣設備 |
采購需求概況 : | 購置1套。完成12寸及以下晶圓的熱處理。12 寸晶圓片內溫度均勻性小于 1%,升溫最大速率 40 K/sec,降溫最大速率 200 K/分鐘,真空度 10E-4 Pa。 |
預計采購時間: | 2024-11 |
備注: |
本次公開的****政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。