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申購單主題: | 電子束發(fā)生器 | 申購單位: | **** | ||||
申購備注: |
設(shè)備名稱 | 品牌 | 型號 | 數(shù)量 | 報價類型 | |||
電子束發(fā)生器 | 金雅克 | JYK-10 | 1 | 國內(nèi)含稅價/人民幣 | |||
售后服務(wù) | 要求供應(yīng)商在客戶現(xiàn)場測繪、****實驗室現(xiàn)有真空腔體對接并氦質(zhì)譜撿漏,安裝調(diào)試及培訓,報價需包含該部分費用。 | ||||||
規(guī)格 | 1. e型電子槍一支,槍功率不小于10Kw; 2. 電子槍高壓穩(wěn)定性:±2%;束流穩(wěn)定性:±2%;抑弧反應(yīng)時間<10ms;磁場電源X偏轉(zhuǎn)電流±2A可調(diào),掃描頻率20~250Hz;Y偏轉(zhuǎn)電流±2A可調(diào),掃描頻率50~250Hz; 3. 配6穴直冷式坩堝,坩堝配有電動防污擋板,具有高壓滅弧自動復位功能;手操器帶坩堝顯示,方便操作人員觀察; 4. 薄膜沉積控制:設(shè)定沉積速率,晶控可控制束流輸出;速率顯示精度優(yōu)于±0.01A/s; 5. 氣路(品牌**華創(chuàng),型號D07-7B):配一路質(zhì)量流量控制器,量程不大于20sccm; 6. 水冷(品牌安格斯,型號AL-2W):配一臺冷卻循環(huán)水機,功率不低于2匹;需要為電子束發(fā)生器提供水冷,配水流監(jiān)控; | ||||||
中標供應(yīng)商 | 單價 | 初選理由 | |||||
**** | 160000 | 最低價原則 |