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清華大學(xué)2024年5至7月政府采購意向
摘要信息
招標(biāo)單位
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招標(biāo)編號
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招標(biāo)估價
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招標(biāo)聯(lián)系人
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招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
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代理聯(lián)系人
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相關(guān)單位：
***********公司企業(yè)信息
****2024年5至7月政府采購意向
發(fā)布時間：2024-10-09 11:56:47 次
政府采購意向公告
********
2024
年
5
至
7
月政府采購意向
政府
采購意向
為便****政府采購信息
，
根據(jù)
《
財政部關(guān)于開展政
府采購意向公開工作的通知
》
（
財庫
〔
2020
〕
10
號
）
等有關(guān)規(guī)定
，
現(xiàn)
將
****
清華大
學(xué)
202
4
年
5
至
7
月政府采購意向
采購意向公開如
下：
序
號
采
購
項
目
名
稱
采購品目
采購需求概況
預(yù)算
金額
（萬
元）
預(yù)計采
購時間
備注
1
氧
化
爐
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：氧化爐
2.
采購標(biāo)的需
實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)：氧化擴(kuò)散
設(shè)備
，
薄膜厚度
：
5000A
3.
采購標(biāo)的
數(shù)量：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量
、
服務(wù)、安全、時限等要求：質(zhì)保期至
少
1
年
。
售后服務(wù)響應(yīng)不超過
24
小時
（不區(qū)分工作日和節(jié)假日）
450
2024-08
2
介
質(zhì)
干
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：介質(zhì)干法刻蝕機(jī)
2.
采
購標(biāo)的需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)
：
8
500
2024-08
法
刻
蝕
機(jī)
英寸向下兼容，介質(zhì)刻蝕速率
≥
350nm/min
3.
采購標(biāo)的數(shù)量：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、服務(wù)、安
全、時限等要求：質(zhì)保期至少
1
年。
售后服務(wù)響應(yīng)不超過
24
小時
（
不區(qū)分
工作日和節(jié)假日）
3
金
屬
干
法
刻
蝕
機(jī)
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：金屬干法刻蝕機(jī)
2.
采
購標(biāo)的需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)
：
8
英 寸 向 下 兼 容 ，
Al
刻 蝕 速 率
≥
600nm/min
3.
采購標(biāo)的數(shù)量：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、服務(wù)、安
全、時限等要求：質(zhì)保期至少
1
年。
售后服務(wù)響應(yīng)不超過
24
小時
（
不區(qū)分
工作日和節(jié)假日）
550
2024-08
4
金
屬
氧
化
物
化
學(xué)
氣
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：金屬氧化物化學(xué)氣相沉
積
2.
采購標(biāo)的需實現(xiàn)的主要功能或
者目標(biāo)：化合物半導(dǎo)體生長工藝，沉
積速率
:
20nm/min
3.
采購標(biāo)的數(shù)量
：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、服務(wù)
、
安全
、
時限等要求
：
質(zhì)保期至少
1
年
。
售后服務(wù)響應(yīng)不超過
24
小時
（
不區(qū)分
850
2024-08
相
沉
積
工作日和節(jié)假日）
5
單
片
清
洗
機(jī)
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：單片清洗機(jī)
2.
采購標(biāo)
的需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)：高溫
工藝前清洗
，
CMP
之后清洗
3.
采購標(biāo)
的數(shù)量：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)
量、服務(wù)、安全、時限等要求：質(zhì)保
期至少
1
年。售后服務(wù)響應(yīng)不超過
2
4
小時（不區(qū)分工作日和節(jié)假日）
700
2024-08
6
槽
式
清
洗
系
統(tǒng)
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：槽式清洗系統(tǒng)
2.
采購
標(biāo)的需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)
：
RC
A
標(biāo)準(zhǔn)清洗，沉積前清洗，深
層
Trench/Via
清洗
3.
采購標(biāo)的數(shù)量
：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、服務(wù)、
安全
、
時限等要求
：
質(zhì)保期至少
1
年
。
售后服務(wù)響應(yīng)不超過
24
小時
（
不區(qū)分
工作日和節(jié)假日）
450
2024-08
7
多
腔
室
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：多腔室濺射系統(tǒng)
2.
采
購標(biāo)的需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)：
1100
2024-08
濺
射
系
統(tǒng)
多種金屬薄膜的物理氣相沉積
3.
采
購標(biāo)的數(shù)量
：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的
質(zhì)量、服務(wù)、安全、時限等要求：質(zhì)
保期至少
1
年。售后服務(wù)響應(yīng)不超
過
24
小時（不區(qū)分工作日和節(jié)假日）
8
原
子
層
沉
積
A****069
9
其他試驗儀
器及裝置
一、采購需求概況應(yīng)當(dāng)包括：
1.
采
購標(biāo)的名稱：原子層沉積
2.
采購標(biāo)
的需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)：氮化
物薄膜沉積
3.
采購標(biāo)的數(shù)量
：
1
4.
采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量
、
服務(wù)
、
安全
、
時限等要求：質(zhì)保期至少
1
年。售后
服務(wù)響應(yīng)不超過
24
小時
（
不區(qū)分工作
日和節(jié)假日）
250
2024-08
本次公開的****政府采購工作的初步安排
，
具體采
購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
****
2024-10-09
附件下載：
招標(biāo)進(jìn)度跟蹤
2024-10-09
招標(biāo)預(yù)告
清華大學(xué)2024年5至7月政府采購意向
當(dāng)前信息
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