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上海工程技術(shù)大學(xué) - 競價(jià)公告（CB108562024000138）

公告-招標(biāo)公告

上海 -上海-上海市

發(fā)布時(shí)間： 2024年09月23日

摘要信息

招標(biāo)單位

招標(biāo)編號(hào)

招標(biāo)估價(jià)

招標(biāo)聯(lián)系人

招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

代理聯(lián)系人

報(bào)名截止時(shí)間

投標(biāo)截止時(shí)間

關(guān)鍵信息

招標(biāo)詳情

下文中****為隱藏內(nèi)容，僅對(duì)千里馬會(huì)員開放，如需查看完整內(nèi)容請(qǐng) 或撥打咨詢熱線： 400-688-2000

相關(guān)單位：

***********公司企業(yè)信息

**** - 競價(jià)公告（****）

發(fā)布時(shí)間：2024-09-23 13:27:56 截止時(shí)間：2024-09-26 13:37:05

申購主題： HMDS烘箱

報(bào)價(jià)要求：國產(chǎn)含稅

發(fā)票類型：增值稅專用發(fā)票

付款方式：貨到驗(yàn)收合格后付款

收貨地址： **市/市轄區(qū)/**區(qū)/****

供應(yīng)商資質(zhì)： **最大HMDS烘箱供應(yīng)商

備注說明： **真萍擁有“一種芯片專用HMDS涂膠系統(tǒng)”實(shí)用新型專利證書（證書號(hào)：ZL 2017 2 ****387.0）

送貨時(shí)間：合同簽訂后30天內(nèi)送達(dá)

安裝要求：免費(fèi)上門安裝（含材料費(fèi)）

預(yù)算： 120000.0人民幣

采購內(nèi)容數(shù)量/單位預(yù)算單價(jià) 品牌型號(hào) 規(guī)格參數(shù) 質(zhì)保及售后服務(wù) 附件

HMDS烘箱

1.0/臺(tái)

120000.0

真萍科技

MD-40

1.1 機(jī)外殼采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼鋼板烤漆處理制造，內(nèi)膽為醫(yī)用專用不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防****工作室內(nèi)物體一目了然。 1.2 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。 1.3 微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。 1.4 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。 1.5 HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。 1.6 HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易. 1.7 低液報(bào)警裝置，采用國際領(lǐng)先的液體感測器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS 液過低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能） 1.8 溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒有啟動(dòng)程序時(shí)，加溫功能啟動(dòng)不了，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能，發(fā)出警報(bào)） 1.9整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316醫(yī)用專用不銹鋼材料，整體使用無縫焊接避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害） 1.10 設(shè)備自帶溫度記錄及壓力記錄（能及時(shí)找到異常）二、整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸： 2.1 內(nèi)膽尺寸：450X450X450mm) 外尺寸980*1600*650mm 容積：90L 2.2 載物托架：2塊 2.3 室溫+10℃-200℃ 控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃ 溫度波動(dòng)度：±0.5℃ 2.4 真空泵：干泵（選配）愛德華15i或者鮑斯干泵。真空度：133pa， 2.5 加熱方式：四面加熱。 2.6 可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片;8寸晶圓片等。 2.7開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）；

按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)，質(zhì)保2年

附件:HMDS烘箱關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置.xlsx
HMDS銷售情況2023全年-市占率.xlsx
HMDS烘箱泵要求.docx

附件（3）