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PVD維護(hù)件清洗噴砂整形技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) - 新.xlsx
1 | ****0560 | 雙C型濺射擋板 | 16PC | ||
2 | ****0556 | 端頭護(hù)罩濺射擋板 | 16PC | ||
3 | ****0557 | C型濺射擋板 | 32PC | ||
4 | ****0564 | 外側(cè)長(zhǎng)型濺射擋板 | 16PC | ||
5 | ****0558 | 陰極內(nèi)側(cè)濺射擋板 | 16PC | ||
6 | ****0559 | 腔體L型濺射擋板 | 32PC | ||
7 | ****0563 | 端頭下濺射擋板 | 8PC | ||
8 | ****0561 | 氣體管道擋板 | 16PC | ||
9 | ****0805 | 凸點(diǎn)導(dǎo)向條濺射擋板 | 32PC | ||
10 | ****5299 | U型濺射擋板 | 16PC | ||
11 | ****0807 | 凹點(diǎn)雙C濺射擋板 | 32PC | ||
12 | ****5300 | 加熱護(hù)板側(cè)連接板 | 32PC | ||
13 | ****5903 | 加熱中間護(hù)板 | 8PC | ||
14 | ****0806 | 加熱護(hù)板濺射擋板 | 16PC | ||
15 | ****2215 | 冷卻護(hù)板 | 4PC | ||
16 | ****2214 | 一體式Carrier | 144PC | ||
17 | ****7602 | C3上加熱護(hù)板(左) | 2PC | ||
18 | ****7591 | C3上加熱護(hù)板(右) | 2PC | ||
19 | 暫無(wú) | 腔體上加熱護(hù)板 | 2PC | ||
20 | 暫無(wú) | 腔體下加熱護(hù)板 | 2PC |