北航集成電路科學與工程學院小型磁控濺射設備采購公告

發(fā)布時間: 2024年08月08日
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****小型磁控濺射設備采購公告 發(fā)布日期:2024-08-08

1. 采購貨物有關信息

1、采購貨物相關信息:

(1)貨物名稱:小型磁控濺射設備

(2)技術指標:

序號

貨物/服務名稱

詳細參數(shù)要求

1

小型磁控濺射設備

1.1

設備配置

設備配置清單:

1. 陰極數(shù)量:2個圓形陰極;

2. 配備機械泵;

3. 配置直流電源實現(xiàn)濺射;

4. 可調進氣流量設置;

5. 一路進氣配置;

6. PLC實現(xiàn)系統(tǒng)自動控制環(huán)境約束;

1.2

項目技術及質量要求

1. 要求緊湊型設計,設備總體積小于1000mmX1300mmX1700mm

2. 配備真空腔體,上蓋可靈活打開更換樣品和靶材;

3. 配備機械泵組,可實現(xiàn)系統(tǒng)的自動抽真空,真空度優(yōu)于9X10-3Pa;

4. 配置直流電源和切換器,最高功率500W;

5. 配置2inch圓形強磁靶槍和2inch圓形普磁靶槍各一套;

6. 配置全量程真空計,量程范圍:5X10-9-1X103mbar;

7. 配備電動樣品臺,旋轉速率可調;

8. 配備流量計實現(xiàn)Ar氣的注入,配備進氣管路和排空;

9. 所有設備由PLC實現(xiàn)控制,配備觸摸屏和人機界面;

2

售后服務


售后服務

1、供應商應具備完善的售后服務體系,供應商有固定的維護人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。

投標單位投標時必須在投標文件中明確地提供售后服務機構或廠家、地址、電話、聯(lián)系人等資料。

2、在保質期以內(nèi),投標人在接到客戶的維修通知對故障能在2小時內(nèi)響應,4小時內(nèi)派出有能力的維修人員****維修處理。

3、在保質期滿后,投標人應保證以合理的價格提供備件和保養(yǎng)服務,當發(fā)生故障時,投標人應按保質期****維修處理,合理收取維修費。

4、質保期1年。


(3)數(shù)量:

序號

產(chǎn)品

數(shù)量/單位

1

小型磁控濺射設備

3套


(4)交貨期:收到貨款后60天內(nèi)

(5)交貨地點:****學院路校區(qū)

(6)是否接受進口產(chǎn)品:否

2、采購預算(最高總限價):69萬

3、參選單位資格要求:

(1)在中華人民**國境內(nèi)注冊、響應招標、參加響應競爭的法人、其他組織或者自然人;

(2)響應人(供應商)應具備《****政府采購法》第二十二條規(guī)定;

① 具有獨立承擔民事責任的能力;

② 具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度;

③ 具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力;

(3)本項目不接受聯(lián)合體響應;

(4)本項目不允許轉包、分包;

(5)近三年內(nèi),本項目響應截止期前,被“信用中國”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當事人名單的、被“中國政府采購網(wǎng)”****政府采購嚴重違法失信行為記錄名單(處罰期限尚未屆滿的),不得參與本項目;

(6)法律、行政法規(guī)關于“合格響應人”的其他條件。

4、報名方式及截止時間:

報名方式:****公司名稱、地址、營業(yè)執(zhí)照掃描件、銷售人員姓名、聯(lián)系方式等)發(fā)送至郵箱bhsme@buaa.****.cn。截止報名時間:2024年 8月12日17時。

5、競價會時間及方式:

時間:2024年8月13日;方式:采取視頻會議方式。具體****學院****辦公室進一步通知。

6、參加競價會所需提供材料:

8月12日18:00前,參選供應商需將正式書面報價單和報名資料(均需加蓋單位公章并密封好)郵寄至以下地址:

地址:****學院路37****大學北區(qū)快遞站

柳洋 老師收,手機號:187****3677

7、采購項目經(jīng)辦人聯(lián)系方式(采購項目咨詢):

柳洋 老師收,手機號:187****3677

8、****小組辦公室聯(lián)系方式(異議或投訴):

邵老師,bhsme@buaa.****.cn或010-****6712(上午9點-11:30;下午14:30-17:00)




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