材料系YURY ILLARIONOV課題組無掩膜紫外光刻機(jī)采購申請(qǐng)成交公告

是否接受進(jìn)口

拒絕進(jìn)口

品牌

赫智科技

型號(hào)

TTT-07-UV Litho ACA Pro(XIP)

生產(chǎn)廠商

赫智****公司

產(chǎn)地信息

中國

技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

1.1光刻精度：
至少支持兩個(gè)光刻鏡頭：
光刻鏡頭1：最小線寬≤0.8 μm，工作距離≥9 mm；
光刻鏡頭2：最小線寬≤0.4 μm，工作距離≥5 mm
Lithography accuracy：
Supports at least two Lithography lenses：
Lithography lens 1：
Critical dimension≤0.8 μm，WD≥9 mm；
Lithography lens 2：
Critical dimension≤0.4 μm，WD≥5 mm
1.2 套刻指引：支持實(shí)時(shí)光刻圖形的預(yù)覽功能
Pattern indication wavelength：exposure preview, for alignment purpose
1.3支持激光主動(dòng)對(duì)焦
Optical automatic focus function
1.4 支持光刻鏡頭電動(dòng)切換
Lens switching module
1.5曝光波長：385±5 nm
Exposure wavelength：385±5 nm
1.6 數(shù)字掩模板分辨率：≥1920 1080
DMD resolution：≥1920 1080
1.7顯微觀測：支持顯微觀測且不會(huì)引起光刻膠變性
Microscopic observation：Supports microscopic observation without causing photoresist
denaturation
1.8 光刻鏡頭電動(dòng)切換時(shí)間：≤300 ms；重復(fù)定位精度：≤400 nm
Supports up to Lithography lens Speed：≤300 ms；Bidirectional accuracy：≤400 nm
1.9 最大樣品厚度：≥10 mm
Maximum Compatible sample thickness：≥10 mm
1.10 最大樣品尺寸：≥125 mm 125 mm
Maximum Substrate dimension：≥125 mm 125 mm
1.11 樣品電動(dòng)旋轉(zhuǎn)：電動(dòng)樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)，行程≥±20°，步進(jìn)精度≤0.001°
Electric adjustment：Rotation stage，Range≥±20°，Accuracy≤0.001°
1.12樣品吸附：支持樣品吸附
Sample adsorption： Support for sample adsorption
1.13設(shè)備軟件：支持陣列光刻、尺寸測量、進(jìn)度顯示
Software： Programmable parameter array for rapid exposure optimization、Mapping
navigation、Dimension measurement
1.14畫圖軟件：支持陣列畫圖、套刻畫圖
Professional software for pattern pixelate： Design tools for array patterns、Design tools
for overlay patterns
1.15濕度控制：支持設(shè)備內(nèi)部濕度控制
Humidity control： dehumidification device integrated
1.16軟件操作界面支持中英文雙語
The software operation interface supports both Chinese and English
1.171.17 防震保護(hù)要求：鑒于實(shí)驗(yàn)室位于三樓，中標(biāo)供應(yīng)商必須提供隔離解決方案，能夠****實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)。最為重要的是，提供的隔離解決方案必須足以確保最低器件分辨率達(dá)到 400nm或者更優(yōu)。
Vibration Protection Requirement: Given the lab's location on the 3rd floor, the supplier is required to furnish an isolation solution capable of effectively isolating the majority of laboratory vibrations. Of utmost importance is that the isolation solution provided must be sufficient to ensure minimum device resolution as good as 400nm

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

1.維修響應(yīng)時(shí)間：招標(biāo)方報(bào)修后，中標(biāo)供應(yīng)商須【24】小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，【48】小時(shí)內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護(hù)，并在【72】小時(shí)內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時(shí)間內(nèi)不能解決設(shè)備故障，應(yīng)提供相同檔次、功能的設(shè)備給招標(biāo)方代用。 2. 中標(biāo)供應(yīng)商售前售中售后均需能夠用英語和項(xiàng)目負(fù)責(zé)人無障礙交流，包括書面和口頭。