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勻膠旋涂?jī)x | 1.0/臺(tái) | 武****公司 | WS-650Mz-23NPPB | 技術(shù)參數(shù)1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm;3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm;4、旋涂加速度:0-12,000rpm/sec;5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;6、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;7、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀**;8、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);9、廢液接收單元;10、電子絕緣負(fù)載雙保護(hù)裝置;11、嵌鎖的安全蓋板;12、防腐裝置;13、保護(hù)氣體裝置:旋涂過程中可以充氮?dú)夂蛪嚎s氣體,對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù);14、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件; 15、兩袋密封圈; 售后1.一年保修2.送貨上門服務(wù),謝絕快遞、物流。 | 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù) |