小型RTP快速升溫CVD設(shè)備(202401300130)

申購(gòu)單主題：小型 RTP 快速升溫 CVD 設(shè)備

申購(gòu)單位：****

設(shè)備1

設(shè)備名稱(chēng)：小型 RTP 快速升溫 CVD 設(shè)備

品牌：不指定品牌

型號(hào)：不指定型號(hào)

數(shù)量：1.0

報(bào)價(jià)類(lèi)型：國(guó)內(nèi)含稅價(jià)/人民幣

售后服務(wù)：

規(guī)格：1：快速升溫爐 功率：10 KW ﹒ 額定電壓：220V（AC） ﹒ 最高加熱溫度：1200℃ ﹒ 額定溫度：1100℃ ﹒ 穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍：100～1050℃ 溫度控制精確度：±1℃ 溫場(chǎng)均勻性：±2℃ 最快升溫速率 ：30℃/s 爐管尺寸 ：高純石英管Φ90*400*R45mm ﹒加熱區(qū)長(zhǎng)度：230mm 控溫方式：模糊 PID 控制和自整定調(diào)節(jié)， 智能化 30 段可編程控制， 具有超溫和斷偶報(bào)警功能 傳感器:K型 標(biāo)準(zhǔn)配置 : 石英管 1 根， 不銹鋼密封水冷法蘭 1 套， 硅膠密封圈 2 套， 高溫手套 1 副； 石英支架 1 只 2▲ 供氣系統(tǒng)（3路）： 該供氣系統(tǒng)是一種可控制 3 種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比， 也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置， 質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi)， 由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。 觸摸屏控制， 此款設(shè)備與 BEQ 品牌的各款真空管式爐和真空機(jī)組組成 CVD 系統(tǒng) 工作電壓： 185~245V， 50 Hz 最大輸出功率： 18W 流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程： 甲烷 100sccm 氫氣 200sccm 氬氣 500sccm、 （氣體及量程可選） 工作溫度： 4~45℃ 工作壓差： 0.1~0.5Mpa 最大壓力： 3Mpa 準(zhǔn)確度： ± 1.5%F.S 壓力表測(cè)量范圍： -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 針閥： 316 不銹鋼 混氣罐： Φ 80*120mm 截止閥： Φ 6.35mm 3▲真空系統(tǒng)VAU-02 : 低真空機(jī)組：VAU-02 是一套低真空機(jī)組， 內(nèi)部安裝 DRV-10 機(jī)械泵 1 臺(tái)， 進(jìn)口真空計(jì) 1 套， 并含有配套使用的波紋管， 手動(dòng)擋板閥， 卡箍等連接部件。 設(shè)備冷態(tài)極限真空可達(dá) 0.5Pa。 技術(shù)參數(shù)： 空氣相對(duì)濕度≤85% 工作電電壓： 220V±10% 50~60HZ 功率： 1 千瓦 抽氣速率： 10m3/h 實(shí)驗(yàn)真空度： 5.0X10-1Pa 容油量： 1.1L 進(jìn)氣口口徑： KF25 排氣口口徑： KF25 轉(zhuǎn)速： 1450rpm 噪音： 50dB 外型尺寸:600× 600× 650m 進(jìn)口真空計(jì)參數(shù)： 型號(hào) PCG550 英?？?INFICON 由 INFICON 公司專(zhuān)有的陶瓷電容傳感器和皮拉尼傳感器組成。 其測(cè)量范圍為 3.8x10-5至 1125Torr.當(dāng)氣壓在 10mbar 以上時(shí)， 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 具有較高的精確度和重復(fù)性， 響應(yīng)時(shí)間較短（≤30ms) 4▲冷水機(jī)CW-5000TG： 工作電壓： AC208-240V 50hz 工作電流： 1.4-2.1A 壓縮機(jī)功率： 0.295kw 制冷量： 2361btu/h 水箱容量： 6L 最大流量： 10L/min 安全保護(hù)： 壓縮機(jī)過(guò)流保護(hù)流量報(bào)警， 超溫報(bào)警 "

更多咨詢(xún)報(bào)價(jià)請(qǐng)點(diǎn)擊：小型 RTP 快速升溫 CVD 設(shè)備(****)