申購(gòu)單主題:小型 RTP 快速升溫 CVD 設(shè)備
申購(gòu)單位:****
設(shè)備1
設(shè)備名稱(chēng):小型 RTP 快速升溫 CVD 設(shè)備
品牌:不指定品牌
型號(hào):不指定型號(hào)
數(shù)量:1.0
報(bào)價(jià)類(lèi)型:國(guó)內(nèi)含稅價(jià)/人民幣
售后服務(wù):
規(guī)格:1:快速升溫爐 功率:10 KW ﹒ 額定電壓:220V(AC) ﹒ 最高加熱溫度:1200℃ ﹒ 額定溫度:1100℃ ﹒ 穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍:100~1050℃ 溫度控制精確度:±1℃ 溫場(chǎng)均勻性:±2℃ 最快升溫速率 :30℃/s 爐管尺寸 :高純石英管Φ90*400*R45mm ﹒加熱區(qū)長(zhǎng)度:230mm 控溫方式:模糊 PID 控制和自整定調(diào)節(jié), 智能化 30 段可編程控制, 具有超溫和斷偶報(bào)警功能 傳感器:K型 標(biāo)準(zhǔn)配置 : 石英管 1 根, 不銹鋼密封水冷法蘭 1 套, 硅膠密封圈 2 套, 高溫手套 1 副; 石英支架 1 只 2▲ 供氣系統(tǒng)(3路): 該供氣系統(tǒng)是一種可控制 3 種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比, 也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置, 質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi), 由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。 觸摸屏控制, 此款設(shè)備與 BEQ 品牌的各款真空管式爐和真空機(jī)組組成 CVD 系統(tǒng) 工作電壓: 185~245V, 50 Hz 最大輸出功率: 18W 流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程: 甲烷 100sccm 氫氣 200sccm 氬氣 500sccm、 (氣體及量程可選) 工作溫度: 4~45℃ 工作壓差: 0.1~0.5Mpa 最大壓力: 3Mpa 準(zhǔn)確度: ± 1.5%F.S 壓力表測(cè)量范圍: -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 針閥: 316 不銹鋼 混氣罐: Φ 80*120mm 截止閥: Φ 6.35mm 3▲真空系統(tǒng)VAU-02 : 低真空機(jī)組:VAU-02 是一套低真空機(jī)組, 內(nèi)部安裝 DRV-10 機(jī)械泵 1 臺(tái), 進(jìn)口真空計(jì) 1 套, 并含有配套使用的波紋管, 手動(dòng)擋板閥, 卡箍等連接部件。 設(shè)備冷態(tài)極限真空可達(dá) 0.5Pa。 技術(shù)參數(shù): 空氣相對(duì)濕度≤85% 工作電電壓: 220V±10% 50~60HZ 功率: 1 千瓦 抽氣速率: 10m3/h 實(shí)驗(yàn)真空度: 5.0X10-1Pa 容油量: 1.1L 進(jìn)氣口口徑: KF25 排氣口口徑: KF25 轉(zhuǎn)速: 1450rpm 噪音: 50dB 外型尺寸:600× 600× 650m 進(jìn)口真空計(jì)參數(shù): 型號(hào) PCG550 英???INFICON 由 INFICON 公司專(zhuān)有的陶瓷電容傳感器和皮拉尼傳感器組成。 其測(cè)量范圍為 3.8x10-5至 1125Torr.當(dāng)氣壓在 10mbar 以上時(shí), 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 具有較高的精確度和重復(fù)性, 響應(yīng)時(shí)間較短(≤30ms) 4▲冷水機(jī)CW-5000TG: 工作電壓: AC208-240V 50hz 工作電流: 1.4-2.1A 壓縮機(jī)功率: 0.295kw 制冷量: 2361btu/h 水箱容量: 6L 最大流量: 10L/min 安全保護(hù): 壓縮機(jī)過(guò)流保護(hù)流量報(bào)警, 超溫報(bào)警 "
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